一、概況
羅茨真空泵具有二個三葉型轉(zhuǎn)子,通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪驅(qū)動,右圖為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)120°,完成一次吸、排氣的過程。三葉轉(zhuǎn)子采用漸開線型線,轉(zhuǎn)動時互相不接觸并保持恒定間隙。可與多種前級泵配套,采用風(fēng)冷或水冷方式和多種密封形式,滿足不同工藝和工況要求。
比傳統(tǒng)二葉型羅茨泵在抽氣效率、***大允許壓差、溫升、振動、噪聲等關(guān)鍵性能指標(biāo)上都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。三葉轉(zhuǎn)子采用高精度齒輪傳動和精密軸承支承,噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)更加平穩(wěn),在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。
二、主要特點(diǎn)
●轉(zhuǎn)速高、容積率高、溫升低、振動小。
●結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好,操作、維護(hù)方便。
●轉(zhuǎn)子被鎖緊,無軸向串動現(xiàn)象、故障率更低。
●所有平面靜密封采用O型圈密封,可以反復(fù)拆裝。
●端蓋密封可采用機(jī)械密封、骨架、活塞環(huán)和迷宮密封等多種形式。
三、應(yīng)用范圍
三葉羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須與前級真空泵配套使用,配置不同類別的前級泵后,羅茨真空泵各項(xiàng)性能指標(biāo)會有所不同。羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(103-10-2Pa)的真空系統(tǒng),例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗(yàn)、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。
四、規(guī)格參數(shù)
型號 |
抽氣速率(L/S) |
極限壓力(Pa) |
***大允許壓差(Pa) |
配用功率(KW) |
轉(zhuǎn)速(rpm) |
進(jìn)氣口(mm) |
排氣口(mm) |
總量(kg) |
推薦前級泵 |
ZJ-70 |
70 |
≤0.05 |
≥1.2*104 |
1.5 |
2900 |
80 |
50 |
58 |
2x-15 |
ZJ-150 |
150 |
≤0.05 |
≥1.2*104 |
3 |
2900 |
100 |
80 |
136 |
2x-30 |
ZJ-300 |
300 |
≤0.05 |
≥1*104 |
4 |
2900 |
150 |
100 |
231 |
2x-70 |
ZJ-600 |
600 |
≤0.05 |
≥8*103 |
5.5(7.5) |
2900 |
200 |
150 |
485 |
ZJ-150 2X-30 |
ZJ-1200 |
1200 |
≤0.05 |
≥6*103 |
11 |
2900 |
250 |
200 |
860 |
ZJ-300 2X-70 |
ZJ-2500 |
2500 |
≤0.05 |
≥5*103 |
18.5 |
2900 |
350 |
250 |
1550 |
ZJ-600 H-150 |
ZJ-5000 |
5000 |
≤0.05 |
≥4*103 |
37 |
1450 |
400 |
350 |
3200 |
ZJ-1200 H-150 |
ZJ-10000 |
10000 |
≤0.05 |
≥3*103 |
55 |
1450 |
500 |
400 |
5800 |
ZJ-1200 H-150 |
ZJ-20000 |
20000 |
≤0.05 |
≥3*103 |
110 |
1450 |
600 |
500 |
12000 |
ZJ-1200 H-150 |
注:上表各性能是在配用推薦前級泵的條件下獲得,若視情況選用不同的前級泵,其主要性能指標(biāo)會有所變化。抽氣速率系指在配用前級泵的條件下羅茨真空的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內(nèi)所測得的***大抽氣速率。(見性能曲線)極限壓力系指在配用推薦前級泵的條件下,不帶任何附加容器、泵口密閉不進(jìn)氣,經(jīng)過充分抽氣后用壓縮形式真空計在泵進(jìn)口處測得的穩(wěn)定的空氣分壓力的***低值。